Halfgeleiderindustrie

Clamp-on debietmeters voor de productie van microchips

Vloeistofstromingsprocessen zijn essentiële onderdelen van de halfgeleiderindustrie en de fabricage van elektronische componenten. De vloeistoffen die tijdens de afzonderlijke productiestappen van halfgeleiders en printplaten (PCB's) worden gebruikt, zijn ofwel corrosief ofwel ultrapuur. Aangezien onze ultrasone flowmeters extern zijn gemonteerd, zijn ze ideaal voor deze omstandigheden, en in tegenstelling tot andere instrumenten worden ze niet gehinderd door de lage geleidbaarheid van het medium.

Katronic flowmeters bieden verschillende voordelen aan onze klanten in de halfgeleiderindustrie.

Onze ultrasone debietmeters leveren metingen aan een grote verscheidenheid van vloeistoffen die worden aangetroffen in de halfgeleiderproductie, van de schurende vloeistoffen die worden gebruikt bij chemisch-mechanische planarisatie (CMP) tot de zuren, oplosmiddelen, oppervlakteactieve stoffen en gedeïoniseerd water in de reinigingsprocessen.

Veel van de vloeistoffen in de halfgeleiderproductie zijn corrosief of gevaarlijk voor de gezondheid. Zuren met een hoge sterkte die nodig zijn om overtollig koper te verwijderen, kunnen veiligheids- en meetproblemen veroorzaken voor elke toegepaste invasieve technologie. Katronic flowmeters zijn niet-invasief, waardoor ze volkomen veilig zijn.

Het gebruik van een Katronic debietmeter om de spoelprocessen te controleren en te verifiëren verlengt de levensduur van het bad met oplossingen, vermindert de kosten voor chemicaliën en verlaagt het uitvalpercentage. Ze kunnen ook worden gebruikt om het volume van overtollige spoelvloeistoffen te controleren en kunnen de afvalverwerkingssystemen ontlasten.

  • Meting van precipitanten, reductie- en vervangingsmiddelen
  • Controle van vloeistoffen voor chemisch-mechanische planarisatie (CMP)
  • Berekening van lozingen van afvalwater
  • Controle van fluorwaterstofzuursystemen
  • Meting van bordspoelsystemen
  • Meting van ultrapuur water
  • Intel
  • ST Micro-elektronica
  • Seagate