Industrie des semi-conducteurs

DÉBITMÈTRES À ULTRASONS NON-INTRUSIFS POUR LA PRODUCTION DE MICROPUCES

Les processus d’écoulement liquide forment une partie essentielle des opérations de l’industrie de la fabrication de composants électroniques et de semi-conducteurs. Les liquides utilisés au cours des différentes étapes de production des semi-conducteurs et des circuits imprimés (PCB) sont corrosifs ou ultra-purs. Comme nos débitmètres à ultrasons sont montés à l’extérieur des conduites, ils conviennent parfaitement à ces conditions, et contrairement à d’autres instruments, ils ne sont pas compromis par la faible conductivité du milieu.

Les débitmètres Katronic présentent de nombreux avantages pour nos clients dans l’industrie des semiconducteurs.

Nos débitmètres ultrasoniques donnent des mesures sur toute une variété de liquides utilisés dans la production des semi-conducteurs, depuis les liquides abrasifs utilisés dans la planarisation chimico-mécanique (CMP) jusqu’aux acides, solvants, surfactants et eau déionisée présents dans les procédés de nettoyage.

Bon nombre de liquides utilisés dans la production des semi-conducteurs sont corrosifs ou dangereux pour la santé. Les acides à haute concentration utilisés pour éliminer l’excédent de cuivre risquent de causer des problèmes pour la sécurité et les valeurs des mesures dans toutes les technologies invasives mises en œuvre. Les débitmètres Katronic sont non intrusifs, ce qui fait qu’ils ne présentent aucun risque.

L’utilisation d’un débitmètre Katronic pour contrôler et vérifier les procédés de rinçage permet de prolonger la durée de vie des solutions, de réduire les frais en produits chimiques et de diminuer les taux de rebut. Il permet aussi de contrôler les volumes des liquides de rinçage en excédent, et d’alléger la charge sur les systèmes de traitement des déchets.

  • Mesures d’agents de précipitation, de réduction et de remplacement
  • Régulation des liquides de planarisation chimico-mécanique (CMP)
  • Calculs des décharges d’eaux usées
  • Contrôle des systèmes d’acide fluorhydrique
  • Comptage des systèmes de rinçage sur PCB
  • Mesures d’eau ultra pure
  • Intel
  • ST Microelectronics
  • Seagate